臭氧消毒機(jī)作為空氣除味與殺菌，要求臭氧濃度較低，如0.5ppm（1mg/m3）這時(shí)不會(huì)對(duì)人體造成影響，而對(duì)物品表面消毒（殺滅微生物和去除化學(xué)污染）則要求提高幾十倍的臭氧濃度。
在使用臭氧消毒機(jī)時(shí)溫度低，濕度大則殺滅效果好，尤其是濕度，相對(duì)濕度小于45%，臭氧對(duì)空氣中懸浮微生物幾乎沒有殺滅作用。在60%時(shí)才逐漸增強(qiáng)，在95%時(shí)達(dá)到最大值。
使用臭氧消毒機(jī)食品加工車間的濃度為，0.5～1.0ppm即可殺滅空氣中的80%的自然菌。
對(duì)冷庫(kù)臭氧消毒時(shí),要求臭氧濃度6～10ppm，停機(jī)后封庫(kù)24小時(shí)以上細(xì)菌殺滅率90%左右，霉菌殺滅率80%左右。
在水果貯藏期間，可用2～3ppm的臭氧濃度可使霉菌的生長(zhǎng)受到抑制，貯藏期可延長(zhǎng)一倍