中頻臭氧發(fā)生器的主體結(jié)構(gòu)分為4個(gè)部分：
1、 電源部分：由變頻器及變壓器組成，將工頻市電轉(zhuǎn)換為高頻高壓電源，一般為2000V至8000V，頻率為400至1000赫茲用來(lái)提供中頻高壓電源。

2、 氣源部分：臭氧發(fā)生器可以利用2種氣源，一種為空氣由無(wú)油空壓機(jī)、干燥器等提供。另一種為純氧或者富氧空氣，由氧氣瓶或者制氧機(jī)提供。空氣或者氧氣進(jìn)入發(fā)生器之后要進(jìn)一步干燥和減壓，經(jīng)計(jì)量連續(xù)進(jìn)入臭氧發(fā)生部分。

3、 臭氧發(fā)生放電室：采用垂直管式單元?dú)馐?，由電極管、介電管或者水管等組成。放電室兩端連接不銹鋼管用于氣流通路，放電室的二個(gè)放電片背面貼鋁質(zhì)散熱片進(jìn)行風(fēng)冷卻或水冷卻。氧氣或空氣進(jìn)入放電室后被分為二路，沿著放電片的表面隙縫的高頻高壓電場(chǎng)流過，部分氧分子中化合鍵斷開而生成氧原子，氧原子與氧分子結(jié)合生成臭氧分子，臭氧氣和空氣的混合氣體沿管路被泵出。

4、 用軸流風(fēng)扇對(duì)放電室進(jìn)行風(fēng)冷卻，也可采用直流冷卻水，經(jīng)計(jì)量后進(jìn)入氣室水套。用戶可以通過臭氧發(fā)生器機(jī)體上的控制面板來(lái)對(duì)氣量進(jìn)行調(diào)節(jié)從而來(lái)調(diào)節(jié)臭氧產(chǎn)量，也可通過其電磁式電流表和電壓表來(lái)進(jìn)行監(jiān)控。

臭氧的工業(yè)生產(chǎn)方法，通常應(yīng)用高壓無(wú)聲放電原理：讓凈化干燥的空氣或者氧氣流過電極間隙，通過此高壓放電間隙，部分氧分子中化合鍵斷開而生成氧原子，氧原子與氧分子結(jié)合生成臭氧。這種臭氧發(fā)生方法稱為電暈放電法，也就是當(dāng)放電器件兩電極間所加的高頻正弦交流電壓大于臨界起暈電壓時(shí)，在放電電極的表面上產(chǎn)生電暈放電。

電源系統(tǒng)是臭氧產(chǎn)生過程中最關(guān)鍵的部分，電源系統(tǒng)不僅僅影響到了臭氧發(fā)生系統(tǒng)穩(wěn)定可靠，而且也決定了臭氧合成效率。目前臭氧發(fā)生器中電源系統(tǒng)可以根據(jù)頻率來(lái)分：工頻電源、中頻電源、高頻電源。頻率在400-1000HZ的電源可以稱為中頻電源，1000HZ以上可以稱為高頻電源。電極的工作特性要求與其匹配的供電電源必須具備穩(wěn)定的輸出頻率和適當(dāng)電壓峰值，這樣才能保證電極高效、可靠地工作。同時(shí)，為了使臭氧產(chǎn)量穩(wěn)定，供電電源的輸出功率應(yīng)該保持恒定。通常臭氧發(fā)生器中電源采用電壓調(diào)節(jié)器，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本較低。但存在工作頻率不穩(wěn)定、輸出電壓隨輸入交流電壓波動(dòng)而變化。采用變頻器＋變壓器的方法不但能夠產(chǎn)生需要的恒功率高壓電源而且操作方便、性能可靠。