溫度、濕度也影響其殺菌滅毒效果。通常，溫度低、濕度大殺菌效果好。實(shí)驗(yàn)證明：當(dāng)環(huán)境相對(duì)濕度小于45％，臭氧對(duì)空氣中的懸浮物幾乎沒(méi)有殺滅性，在同樣溫度下，相對(duì)濕度超過(guò)60％時(shí)，殺滅效果逐漸增強(qiáng)，在相對(duì)濕度為90％時(shí)，達(dá)到最佳滅菌效果；
臭氧發(fā)生器濃度也影響其滅菌能力，濃度在0.2mg/L以下，幾乎沒(méi)有殺滅作用。

臭氧發(fā)生器很容易同細(xì)菌的細(xì)胞壁中的脂蛋白或細(xì)胞膜中的磷脂質(zhì)、蛋白質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而使細(xì)菌的細(xì)胞壁和細(xì)胞受到破壞（即所謂的溶菌作用），細(xì)胞膜的通透性增加，細(xì)胞內(nèi)物質(zhì)外流，使其失去活性。
臭氧發(fā)生器破壞或分解細(xì)胞壁，迅速擴(kuò)散進(jìn)入細(xì)胞里，氧化了細(xì)胞內(nèi)酶或 RNA、DNA，從而致死菌原體。在高壓強(qiáng)電場(chǎng)作用下，氣體在電介質(zhì)表面產(chǎn)生脈沖電暈放電，產(chǎn)生高濃度等離子體，電子和離子被強(qiáng)大電場(chǎng)力作用加速與氣體分子碰撞，在10S內(nèi)使氧分子分解成單原子氧，在數(shù)10S內(nèi)原子氧和分子氧結(jié)合成臭氧：

O2 +e →2O+2O2 → 2O3

臭氧發(fā)生器在水中是不穩(wěn)定的，時(shí)刻發(fā)生還原反應(yīng)，產(chǎn)生十分活潑的、具有強(qiáng)烈氧化作用的單元子氧（ O），在產(chǎn)生瞬時(shí)，對(duì)水中細(xì)菌、微生物有機(jī)物質(zhì)進(jìn)行分解作用。

臭氧發(fā)生器僅在1分鐘內(nèi)就可以100％殺死細(xì)菌、酵母和黑曲霉菌。臭氧發(fā)生器對(duì)水滅菌消毒不同于一般滅菌、消毒劑，如次氯酸（HOCl 2 ）、二氧化氯（ ClO 2 ）的滅菌、消毒是進(jìn)行性、累積性的，臭氧發(fā)生器對(duì)水滅菌消毒則急速性的，當(dāng)臭氧的濃度超過(guò)閥值，消毒、殺菌就會(huì)瞬時(shí)發(fā)生。如清凈水中臭氧濃度達(dá) 0.4－0.5ppm時(shí)，在0.5～5min內(nèi)就可以致死細(xì)菌。